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              產品詳情
              • 產品名稱:單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

              • 產品型號:
              • 產品廠商:成越科儀
              • 產品文檔:
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              簡單介紹:
              單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改??蓪崿F在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
              詳情介紹:

              射頻電源

               

              輸出功率

              150W

               

              輸出精度

              ±1%

               

              射頻頻率

              13.56MHz

               

              射頻穩定度

              ±0.005%

               

              冷卻方式

              風冷

              1200溫區管式爐

              供電電壓

              AC220V,50Hz

               

              *大功率

              2KW

               

              加熱溫區

              單個溫區200mm

               

              工作溫度

              *高1200℃,連續運行溫度應≤1100℃

               

              控溫精度

              ±1℃

               

              控溫方式

              AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

              三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

               

              爐管材質

              高純石英

               

              爐管尺寸

              φ50x800mm

               

              密封方式

              真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

               

              可調轉速

              0-20rpm

               

              傾斜角度

              0-15°

               

              真空泵

              旋片機械泵

               

              極限真空度

              1.0E-1Pa

               

              進料方式

              真空漏斗加螺桿進料

              豫公網安備 41019702002438號

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