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              產品詳情
              • 產品名稱:實驗室多弧離子鍍鍍膜儀

              • 產品型號:CY-MIOP500S-2TA
              • 產品廠商:成越科儀
              • 產品文檔:
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              簡單介紹:
              實驗室多弧離子鍍鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上,實驗室多弧離子鍍鍍膜儀十分適合鍍硬質保護膜如TiN等
              詳情介紹:

              CY-MIOP500S-2TA多弧離子鍍鍍膜儀

              多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。

              設計特色

              本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果,該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的安全。 


              產品型號

              CY-MIOP500S-2TA

              真空腔體

              水冷不銹鋼腔體

              φ500mm X 490mm(H)

              前開門式,配有φ100mm石英觀察窗

              內置兩組紅外加熱燈,可對腔體烘烤除氣

              預留多個CF接口,可安裝多路膜厚儀

              進氣系統

              質量流量計Ar氣0~200sccm,

              N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制

              供電要求

              AC 220V 50Hz  10kW

              控制方式

              15英寸觸控屏 組態控制軟件

              多弧靶

              數量規格

              3英寸x2

              安裝方式

              腔體側方對置

              工作電流

              0~150A

              靶材厚度

              max50mm,min20mm

              樣品

              規格

              行星式掛架

              可懸掛樣品數

              每支掛架上6個掛點,共計6個掛架

              轉速

              公轉轉速1~20rpm

              真空系統

               

              產品型號

              CY-GZK103-A

              分子泵

              渦輪分子泵

              前極泵

              雙極旋片泵

              抽氣速率

              分子泵:600L/S

              綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

              旋片泵:1.1L/S

              極限真空

              5×10E-4Pa

              抽氣接口

              KF40

              排氣接口

              KF16

              真空測量

              復合真空計

               

              豫公網安備 41019702002438號

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