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              產品詳情
              • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

              • 產品型號:CY-PECVD-R
              • 產品廠商:成越科儀
              • 產品文檔:
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              簡單介紹:
              本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
              詳情介紹:

              旋轉PECVD 

              本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

              技術參數

              雙溫區管式爐

              產品型號

              CY-O1200-60IIC-R

              設備功率

              3KW

              爐管材質

              高純石英

              爐管尺寸

              Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

              爐膛長度

              440mm

              加熱區長

              200mm+200mm

              工作溫度

              0~1150℃

              極限溫度

              1200℃

              控溫精度

              ±1℃

              熱電偶類型

              K型熱電偶

              控溫模式

              30段程序控溫,PID參數自整定

              顯示模式

              高清全彩LCD觸控屏

              密封方式

              304不銹鋼真空法蘭

              供電電源

              AC:220V 50/60Hz  

              旋轉速度

              0~13rpm

              傾斜角度

              0~35°

              3路質量流量計

              產品型號

              CY-3Z

              氣路數量

              3路

              流量計類型

              質量流量計

              測量范圍

              A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

              測量精度

              ±1.5%

              工作壓差

              0.1~0.5MPa

              管路接口

              1/4英寸卡套接頭

              供電

              AC220V 50/60Hz

              真空系統

              真空泵

              雙極旋片泵

              抽速

              1.1L/s

              抽氣接口

              KF16

              泵極限真空度

              10E-1Pa

              供電

              AC220V 50/60Hz

              射頻電源

              信號頻率

              13.56MHz±0.005%

              功率輸出范圍

              0~500W

              *大反射功率

              100W

              射頻輸出接口

              50Ω,N-Type,female

              功率穩定度

              ≤5W


              豫公網安備 41019702002438號

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